电机系博士生张东荷雨获cstic 2026最佳学生论文奖-九游会平台

3月22日，2026年集成电路科学技术大会（cstic 2026）在上海召开。会上，电机系2021级博士生张东荷雨凭借论文《半导体检测中激光维持等离子体光源中的振荡机制》（oscillation mechanisms in laser-sustained plasma light sources for semiconductor inspection）荣获“最佳学生论文奖（best student paper award）”（第二名）。该论文聚焦半导体制造中的晶圆缺陷检测等离子体光源稳定性调控问题，深入研究了激光维持等离子体的流场振荡现象，揭示了引发振荡的涡动力学机制，总结了等离子体振荡频率的参数影响规律，并提出了流场振荡模式的转换与调控方法。论文指导教师为电机系副教授付洋洋。

张东荷雨（右二）与其他获奖者及颁奖嘉宾在大会现场合影

cstic由国际半导体产业协会（semi）与电气与电子工程师协会（ieee）联合主办，与2026年上海国际半导体展览会（semicon china）同期举办，自2000年创办以来，已发展成为亚洲乃至全球规模最大、覆盖面最广的半导体技术盛会之一。本届大会以“什么将塑造未来十年半导体格局”为主题，共收录543篇摘要，涵盖器件工程、光刻、先进封装、ai与ic制造等技术方向。大会投稿中61%来自产业界、39%来自高校与科研机构，演讲嘉宾来自全球138家领先企业、高校和研究院所。大会现场颁发了由semi设立的最佳学生论文奖，经过严格评审，张东荷雨从众多优秀申请者中脱颖而出，获此殊荣。

获奖人简介：

张东荷雨，电机系2021级博士生，导师为副教授付洋洋，主要从事激光维持等离子体研究。博士在读期间在领域内高水平期刊以第一作者或共同第一作者身份发表sci论文6篇、ei论文1篇，在aapps-dpp、ieee icops等国际会议做口头报告7次，获cstic 2026最佳学生论文奖、ppps 2025最佳学生论文奖、icpsa 2024最佳口头报告奖、aapps-dpp 2023最佳海报奖等荣誉。